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K-max - Electrostatic Chuck, E-Chuck - KMAX-Tech ESC Design 

自動控制相關業,建泓科技實業股份有限公司創立於民國1965年，主要從事光電及半導體設備零組件相關行業；建泓科技擁有為數不少的客戶群。 本公司擁有優秀的經營團隊，秉持著『客戶至上幸福企業』的經營理念，追求企業永續經營及成長；除整體營運穩定外，獲利狀況也逐年提昇，是國內績優廠商之一 。半導體及光電設備用ESC量產 ...Polyimide ESC Anodize Electric Static Chuck , ESC , 靜電盤, Ceramic ESC靜電吸盤，下電極, 半導體耗材,  ...

半導體產業應用:

生產新式靜電盤(視客戶應用設計)，各式靜電盤維修(JR/庫倫陶瓷靜電盤、陽極靜電盤、PI靜電盤)，可解決baskside Helium Leakage、Current Leakage、chamber Leakage

協助客戶改善製程及設備問題，ESC改造案例

蝕刻率(Etchiing Rate)，蝕刻均勻性(Uniformity)改善;熱傳導(Thermal Conductivity)，WAT電性改善;生成物堆積晶圓吸附力不佳(Polymer accumulation lead to Wafer Edge elium LeakageESC eage Arcing)

光電產業應用:

ESC 靜電盤 Total Solution:

靜電盤 ESC客製化設計與製造/Power supply 高壓接點 接線設計 真空Feed through

客戶製程問題改善 Total Pitch 改善方案 耐刮傷解決方案 吸附力改善方案 多迴路設計

水膠機OCA/OCR貼合ESC設計

Cell ODF 段機台改造:薄板0.5mm改為0.25mm玻璃製程及真空吸著孔 改善對組精度及基板平整度

主網頁:建泓科技實業股份有限公司 https://www.kmax-tech.com/cht/