歡迎來到建泓科技 K-max的世界

歡迎蒞臨建泓科技 K-MAX網站

K-max - Electrostatic Chuck, E-Chuck - KMAX-Tech ESC Design 

 
自動控制相關業,建泓科技實業股份有限公司創立於民國1965年,主要從事光電及半導體設備零組件相關行業;建泓科技擁有為數不少的客戶群。 本公司擁有優秀的經營團隊,秉持著『客戶至上幸福企業』的經營理念,追求企業永續經營及成長;除整體營運穩定外,獲利狀況也逐年提昇,是國內績優廠商之一 。半導體及光電設備用ESC量產 ...Polyimide ESC Anodize Electric Static Chuck , ESC , 靜電盤, Ceramic ESC靜電吸盤,下電極, 半導體耗材,  ...
 
半導體產業應用:
生產新式靜電盤(視客戶應用設計),各式靜電盤維修(JR/庫倫陶瓷靜電盤、陽極靜電盤、PI靜電盤),可解決baskside Helium Leakage、Current Leakage、chamber Leakage
協助客戶改善製程及設備問題,ESC改造案例
蝕刻率(Etchiing Rate),蝕刻均勻性(Uniformity)改善;熱傳導(Thermal Conductivity),WAT電性改善;生成物堆積晶圓吸附力不佳(Polymer accumulation lead to Wafer Edge elium LeakageESC eage Arcing)
 
光電產業應用:
 
ESC 靜電盤 Total Solution:
靜電盤 ESC客製化設計與製造/Power supply 高壓接點 接線設計 真空Feed through
客戶製程問題改善 Total Pitch 改善方案 耐刮傷解決方案 吸附力改善方案 多迴路設計
水膠機OCA/OCR貼合ESC設計
Cell ODF 段機台改造:薄板0.5mm改為0.25mm玻璃製程及真空吸著孔 改善對組精度及基板平整度

主網頁:建泓科技實業股份有限公司 https://www.kmax-tech.com/cht/


 

Electrostatic Chuck, E-Chuck

Since 1965, K-max Technology Co., Ltd has been deeply cultivating in the heavy-machinery industry and the petrochemical industry for years. However, in line with the change of world economic trend, K-max has today developed products in the environmental protection industry and the high-tech industry and has become the provider of the best choice in the sector of electrostatic chuck (E-chuck), custom precision products and environmental protection industries.