靜電吸盤（Electrostatic Chuck,ESC）已經廣泛的被半導體界所使用，而現在更應用到其他的業界中，例如應用在面版廠中可拿來固定ITO導電玻璃。此零組件之應用範圍日漸增加。在早期，靜電吸盤只用於吸附晶圓這方面，但是靜電吸盤還有能力可以去吸附其他類別的材料，所以根據觀察，靜電吸盤的應用範圍應該會越來越廣。本論文即是再討論各種不同介電性質之材料對於靜電吸盤吸附力之影響。本實驗利用靜電吸盤之測試平台，針對五種不同介電性質之材料做靜電吸盤之吸附力測試，由實驗結果中發現，靜電吸盤對於不同材料之吸附力會因其介電常數之不同而不同，其吸附力大小與吸附材料之介電常數呈現一正比的關係。經由理論中解釋會發生此現象的原因是因為影響靜電吸盤吸附力中的一項參數ε(介電常數,Dielectric constant)會因吸附物之介電常數不同而改變，原本之ε值會因為靜電吸盤與材料並聯而改變，進而影響吸附力之大小