常見問題
半導體靜電盤應用
半導體蝕刻機為寡占市場,主要供應商有TEL、應材、科林(LAM)等大廠,一部蝕刻機價格上億元,其內部的關鍵零件自然不便宜,以靜電吸盤(ESC)為例,原廠的報價至少上百萬元,開發Second source之下,廠商可cost down成本後導入使用。
國內外半導體廠零件廠均積極研發靜電吸盤(ESC),經多年努力,產品已獲得台積電、聯電、力晶、瑞晶、奇美、華映等大廠認證,靜電吸盤(ESC)是以1,500伏以上的高壓產生靜電來吸附晶圓,以進行精密的蝕刻作業。ESE 本身為一個鋁盤,表面經過精密陶瓷塗布,平坦度要求極高,且具備高密度、耐電漿特性。各零件廠商都想進入此一市場,但難度真的很高,但建泓科技在技術提升下的材料、表面處理及接合技術,領先其他同業。
為何使用靜電盤
為什麼要使用靜電盤
早期在大氣中固定產品的方視為夾持式及真空吸盤吸取式吸附
夾持式在應用上會使產品變形或應力集中,造成製程不可控制的變異
因此在真空吸附產品上,良率及精度的考量或選用靜電吸附的方式
目前廣泛用於半導體的晶圓吸附,及LCD TFT/CF玻璃對組,觸控面板水膠機面板貼合